廣東厭氧烤箱用于航空、航天、石油、化工、軍事、船舶、電子、通訊等科研生產(chǎn)單位，主要用于BPO  /PI  /BCB膠的固化，IC(晶圓、CMOS、凸點(diǎn)、TSV、MENS、指紋識(shí)別)、FPD、高精密電子元器件、電子陶瓷材料的無(wú)塵干燥，以及電器產(chǎn)品、材料、元器件的無(wú)塵干燥。

　　廣東厭氧烤箱箱體采用全陶瓷纖維保溫，具有升溫快、節(jié)能的特點(diǎn)，優(yōu)良的送排風(fēng)系統(tǒng)保證了烤箱箱內(nèi)溫度的均勻，吸入式玻璃纖維過(guò)濾器保證了潔凈度要求。它服務(wù)于主要的研究所、軍事工業(yè)、地方重點(diǎn)大學(xué)等等，充氨無(wú)氧烤箱通過(guò)充入惰性氣體(N2CO2)將烤箱的氧氣排出，從而防止高溫下烘烤過(guò)程中的氧化現(xiàn)象，這就對(duì)充氫烤箱的結(jié)構(gòu)提出了特殊的要求，尤其是密封性能和控制系統(tǒng)。

　　廣東厭氧烤箱與普通烤箱的結(jié)構(gòu)區(qū)別在于，厭氧烤箱會(huì)將內(nèi)箱完全焊接，同時(shí)進(jìn)行密封，使充入的惰性氣體不會(huì)泄漏，同時(shí)保證內(nèi)部的無(wú)氧環(huán)境。但是，普通烤箱即使全焊，也不需要密封；厭氧烤箱與普通烤箱在控制系統(tǒng)上的區(qū)別在于，厭氧烤箱需要增加氨氣控制系統(tǒng)，同時(shí)需要具備延時(shí)加熱功能，也就是說(shuō)在加熱前延時(shí)充氨，以保證加熱時(shí)烤箱內(nèi)已經(jīng)形成無(wú)氧環(huán)境，避免高溫氧化。

　　廣東厭氧烤箱的應(yīng)用包括半導(dǎo)體芯片加工，隨著頻率和速度的提高，如微電子加工領(lǐng)域和高速通信領(lǐng)域，對(duì)芯片尺寸、寄生參數(shù)、絕緣等的要求越來(lái)越高，需要一種能滿足新型芯片產(chǎn)品加工要求的材料，然而，BCB(苯并環(huán)丁烯)是滿足各種要求的良好材料，并且光敏光刻膠具有低介電常數(shù)的特點(diǎn)，然而，BCB膠的固化過(guò)程尤為重要，那么廣東厭氧烤箱的工藝要求是什么呢？下面由小編來(lái)為你解答。

　　1.在外延片表面涂覆光敏BCB膠，通過(guò)光刻在外延片表面形成光敏BCB膠圖形；

　　2.用等離子體反應(yīng)刻蝕處理外延片表面的光敏BCB膠；

　　3.將刻蝕后的外延片置于真空無(wú)氧烤箱中，通入N2真空置換，采用多次升溫保溫方式，在規(guī)定時(shí)間內(nèi)從室溫升至頭一溫度階段，保溫1-2h，然后在規(guī)定時(shí)間內(nèi)從頭一溫度階段升至第二溫度階段，保溫一定時(shí)間；

　　4.然后增加輔助冷卻系統(tǒng)(水冷、風(fēng)冷)，將退火爐溫度降至80度左右，完成固化。

　　廣東厭氧烤箱?是一種提供高溫、低氧和潔凈環(huán)境的特殊工藝設(shè)備?？鞠鋬?nèi)部采用不銹鋼材質(zhì)，全部采用無(wú)塵材料?？鞠淇梢猿涞?dú)夂统檎婵眨箍鞠涔ぷ魇姨幱诘脱鯘崈魻顟B(tài)。工作室內(nèi)的溫度由溫控器自動(dòng)控制，有自動(dòng)恒溫和時(shí)間控制裝置，可快速升溫、恒溫和降溫，設(shè)有超溫?cái)嗦芳訜?、含氧量檢測(cè)、輔助冷卻裝置和報(bào)警電路，使用安全。真空無(wú)氧烤箱采用干PI膠、BCB膠固化、粘接材料預(yù)處理、ITO膜退火、PR出膠固化等特殊工藝。適用于干式電子液晶顯示器、LCD、CMOS、ic、PCB、半導(dǎo)體封裝、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)和科研部門(mén)。